是我公司生產(chǎn)的新型氣體檢測報警器,本機采用高精密氣體傳感器和微控制器技術,結合精良SMD工藝制造而成,具有良好的重復性和溫濕度特性、使用壽命長、操作方便等優(yōu)點。在各種不同的環(huán)境中配置不同傳感器可作為不同氣體的檢測報警器,如常見的可燃氣體報警器、可燃氣體探測器、有毒氣體報警器、有毒氣體探測器、氨氣泄漏報警器、氨氣泄漏探測器、氨氣報警器、氨氣探測器、氨氣濃度檢測器、氨氣濃度報警器等。
KB-501SG點型 氣體探測器將空氣中指定測量氣體濃度信號轉化數(shù)字信號顯示,采用三線制4-20mA的電流信號輸出方式,具有傳輸距離遠、抗干擾性能好等特點。并具有二級聲光報警功能,探測到有毒氣體泄漏會迅速對泄漏氣體進行檢測報警,確保人員安全。
KB-501SG點型 氣體探測器適用于煉油、化工、液化氣站、燃氣、鋼鐵、鍋爐房、加油加氣站、噴漆房等存在易燃易爆、有毒有害氣體的各種 環(huán)境。 kb501sg型有毒可燃氣體檢測報警儀器KB501SG固定式氣體監(jiān)測系統(tǒng)KB501X氣體報警裝置
*高靈敏度、長壽命、低漂移等優(yōu)點,工作穩(wěn)定;
*傳感器故障自檢功能,及時更換傳感器,更安全;
*強大的聲光報警功能;
*高亮度LED顯示,直觀清晰;
*兩級濃度報警,具有繼電器輸出功能;
*4~20mA標準模擬輸出和RS485數(shù)字輸出,適應各類控制儀表和DCS、PLC系統(tǒng);
*紅外遙控調(diào)整方式,不開蓋即可對探測器進行調(diào)整,安全方便;
*采用隔爆式設計,適用于危險條件1、2區(qū); kb501sg型有毒可燃氣體檢測報警儀器KB501SG固定式氣體監(jiān)測系統(tǒng)KB501X氣體報警裝置
鄭州科薩電子有限公司成立于2002年,是一家專業(yè)生產(chǎn)可燃氣體報警器系例,易燃、易爆、有毒、有害以及危險氣體泄漏檢測報警儀器的高新技術企業(yè)。公司擁有一支專業(yè)、精干的研發(fā)隊伍和熱情、周到的服務隊伍。公司成立十幾年以來專業(yè)致力于工業(yè)安全防護儀器儀表的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售,業(yè)務覆蓋全國各省市轄區(qū)。
公司研發(fā)生產(chǎn)的便攜式氣體報警儀、固定式氣體檢測報警器系列產(chǎn)品包括: 便攜式氣體檢測儀、固定式氣體報警器、四合一氣體檢測儀、氣體檢漏儀、泵吸式氣體檢測儀、氣體報警控制器、六氟化硫(SF6)氣體在線監(jiān)測系統(tǒng)等多種產(chǎn)品。適用氣體涵蓋可燃氣體、有毒氣體、氧氣等各類氣體泄漏場合。
公司生產(chǎn)基地設立在美麗的“綠城”鄭州,在北京、上海、深圳、武漢、重慶、西安、沈陽設立有服務辦事處,具備對外進出口貿(mào)易資格,在國際市場上占據(jù)有一席之地。
多年來,公司憑借過硬的技術優(yōu)勢、行業(yè)優(yōu)勢、產(chǎn)品優(yōu)勢、價格優(yōu)勢以及完善、熱情的售前、售后服務,在石油、化工、燃氣、電力、節(jié)能、環(huán)保、鋼鐵、冶金、醫(yī)藥、食品等行業(yè)都建立了良好、密切的長期合作關系,獲得了市場認可!
優(yōu)良的產(chǎn)品源自成熟的企業(yè),良好的合作來自真誠的理念。我們以敬業(yè)的熱忱和對社會責任的認知,與各界攜手共進!
公司通過了ISO9001質(zhì)量認證和對外貿(mào)易經(jīng)營權,具備完善的行業(yè)資質(zhì)?扑_人永遠堅持質(zhì)量求生存,信譽求發(fā)展的硬道理,讓我們攜手科薩共創(chuàng)美好明天!
認識科薩產(chǎn)品,讀懂科薩文化,品味科薩人生,共創(chuàng)科薩輝煌! kb501sg型有毒可燃氣體檢測報警儀器KB501SG固定式氣體監(jiān)測系統(tǒng)KB501X氣體報警裝置
R2000 輻射測量計是一個專注維持重復性固化操作,衡量來自UV點光源系統(tǒng)光輸出量的重要連接。 使用 UV 點固化系統(tǒng),測量功率或光強度 l 利用OmniCure Series 2000 的無線和/或串口通信可設定照射強度并通過單參照點來校準系統(tǒng),是大規(guī);圃熘杏糜诰S持過程控制的理想選擇 l 專用的檢波系統(tǒng)用于多波段(250-600nm)精確測量,適用于各種光源 l 專用的光學接口可從根本上消除光束形狀的依賴,極大地提高了測量的精度 l 具有可用PC 下載數(shù)據(jù)的存儲器 l 可為客戶定制個性化感應器,如:固化環(huán)輻射測量計和固化點輻射測量計 測光表優(yōu)點 R2000 測光表是測量光強度的最為、的工具。R2000 便攜測光表的設計中結合了UV 固化系統(tǒng)的 OmniCure® 平臺,它具有無與倫比的校準性能,并通過無線及串行通信在OmniCure® 2000 系列固化系統(tǒng)上設定光強度水平。 極為超前的精密科技 光導端口 自動感應各種工業(yè)標準的光導直徑。 控制/顯示 用戶友好的控制方式及的信息顯示,便于單元操作及維護。 精確度 R2000 測光表包括專利檢測系統(tǒng),可進行精確寬帶測量,在250nm-600nm波長的可測量 范圍內(nèi)保持精確性。R2000 測光表自動調(diào)節(jié)保持在 5mW/cm2 - 60W/cm2 測量范圍內(nèi)的 精確度。 控制 R2000 測光表內(nèi)置的定制電子結構可連接添加的定制傳感器,在固化點直接測量光能量。 固化點測光表通過測量照射粘合劑的實際光量,提供進、最精確的工藝控制方式。 重復性 R2000 測光表的專利光學接口可收集大面積及數(shù)值孔徑上的光線,消除了對光束波形的依 賴。 OmniCure® 2000 系列 在 R2000 測光表的設計中結合了 UV 點固化系統(tǒng)的 OmniCure® 平臺,因此該測光表與OmniCure® 2000 系列一起使用時可發(fā)揮其特有的功能。R2000 測光表與 OmniCure® 2000系列點固化系統(tǒng)之間的無線通信允許用戶對各自的系統(tǒng)進行校準,并通過的 R2000 測光表接口控制來設定光強度水平。
更多選擇 近似測量適配器 用戶可通過近似測量適配器獲取的特定應用功率或光線所照區(qū)域內(nèi)的光強度。通過將光線發(fā)射端直接置于插入到 R2000 測光表內(nèi)的近似測量適配器頂部之上完成測量。 燈泡輸出適配器 燈泡輸出適配器為剛性適配器,它作為固化單元和光源間的接口,可直接測量燈泡功率。該光學配件對于系統(tǒng)維護至關重要,因為它可用于判定光導是否由于衰減需要更換。
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XJ830拉力機技術參數(shù) Main specifications
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應用范圍:九洲電氣PowerLeaderTM系列高頻開關直流電源系統(tǒng)適用于大型發(fā)電廠、水電廠、超高壓變電站、無人值守變電站作為控制、信號、保護、自動重合閘操作、事故照明、直流油泵、,各種直流操作機構的分合閘,二次回路的儀表,自動化裝置的控制交流不停電電源等用電裝置的直流供電電源。
PowerLeaderTM系列高頻開關直流電源的單線原理:GZD(W)型高頻開關直流電源由充電屏、饋線屏、蓄電池及直流電壓變換器四個單元組成。充電機屏由若干電源模塊和微機監(jiān)控系統(tǒng)組成,單柜(屏)最大配置160A,若需要更大的輸出電流可實現(xiàn)多機柜(屏)并聯(lián)。饋線屏配有微機絕緣在線監(jiān)察裝置,當某一饋出支路發(fā)生接地事故時可顯示出某地支路編號及接地電阻。電池屏內(nèi)可選配微機蓄電池巡檢裝置,隨時對蓄電池狀態(tài)進行監(jiān)控。直流電壓變送器可采用高頻直流變送器,當合閘母線在180-300V電壓變動時控制線母線的輸出電壓都能牢牢地穩(wěn)定在220V。
高頻開關直流電源模塊的基本原理: PowerLeaderTM系列高頻開關直流電源采用了全橋移相式脈寬調(diào)制軟開關控制技術,使得模塊效率進一步提高,諧波減小。高頻開關直流電源模塊采用三相三線380VAC平衡輸入,無相序要求,無中線電流損耗,在交流輸入端,采用的尖峰抑制器件及EMI濾波電路。高頻開關直流電源由全橋整流電路將三相交流電整流為直流,經(jīng)無源功率因數(shù)校正(PFC)后,再由DC/DC高頻變換電路把所得的直流電逆變成穩(wěn)定可控的直流電輸出。高頻開關直流電源脈寬調(diào)制電路(PWM)及軟開關諧振回路根據(jù)電網(wǎng)和負載的變化,自動調(diào)節(jié)高頻開關的脈沖寬度和移相角,使輸出電壓電流在任何允許的情況下都能保持穩(wěn)定。JZ-22010D系列電力高頻開關電源既可單機工作完成各種基本功能,又可并聯(lián)組合工作,并具有良好的并機均流效果。高頻開關直流電源通過與微機連接,可實現(xiàn)"遙測、遙信、遙控、遙調(diào)"四遙功能。高頻開關直流電源具備完善的保護功能,模塊或模塊組獨立運行和微機監(jiān)控下系統(tǒng)的安全、穩(wěn)定。高頻開關直流電源模塊采用總線采樣主、從均流控制方式。在并機運行時,高頻開關直流電源模塊組中能自動選出一臺主模塊,將分流器采集到的電流、電壓等外部參數(shù)進行處理,集中控制每一臺模塊的輸出電壓、電流。從而,即使在小電流時,也能得到較好的均流效果。
HT3000-C固定便攜兩用高清測速儀
HT3000-C高清測速儀優(yōu)勢:
1、集成化程度高
雷達直接連接攝像機,可以在不連電腦的情況下直接使用,體積非常小巧,防護等級IP67,便攜靈活,避免了普通移動電子警察線路繁雜、頻繁插拔易出現(xiàn)故障的弊端。由于采用攝像機直接連接雷達,方便車內(nèi)/外靈活使用。
2、圖片清晰度高
系統(tǒng)采用?蹈叻直媛示W(wǎng)絡數(shù)字攝像機(工業(yè)數(shù)字攝像機),實現(xiàn)高清晰度的圖像采集。系統(tǒng)采集的車輛圖像,分辨率高達200 萬像素1600*1200,清晰度是普通工業(yè)攝像機的10倍以上。
3、抓拍率高
系統(tǒng)采用攝像機和先進的雷達測速視頻觸發(fā)技術,無論晴天、陰雨天都非常靈敏準確,抓拍率高達百分之九十九以上。
4、系統(tǒng)功能強大,集雷達測速手動,自動抓拍、違章停車、壓線、非法調(diào)頭、逆行等多種糾違方式和U盤自動下載、遠程無線傳輸?shù)榷喾N功能。
5、可以脫機使用,超級實用
測速儀可以脫機使用,抓拍數(shù)據(jù)存儲到攝像機內(nèi)置SD卡,而不丟失。連接電腦后可以自動傳輸數(shù)據(jù),穩(wěn)定性高。
6、xp或win7操作系統(tǒng),性能穩(wěn)定。
7、系統(tǒng)配有專用三角支架,可以安放車輛內(nèi)使用,安裝牢固可靠方便安全,也可使用三角架支撐放置于路邊進行采點兒式測速,靈活實用。
HT3000-C高清測速儀
全天候作業(yè),車輛檢測、識別、雷達測速、圖片抓拍取證等工作都由智能攝像機瞬間自動完成。
特寫視野圖像清晰、證據(jù)確鑿,全景視野一目了然、無可辯駁。
高清攝像機視野范圍大,路邊測量時可同時監(jiān)測2-3 條車道。
測量結果準確、取證內(nèi)容充分、記錄編輯全面、簡單。
一體化設計,車載和便攜兩用,可安置于車內(nèi),拆卸簡單,調(diào)整方便。配有專用三角支架,可以單獨放置在路邊進行測速。
U盤自動下載功能,操作簡單,使用方便,數(shù)據(jù)可使用U盤自動導出。
全天候工作,白天、夜間均可正常工作。
設備采用安全的12VDC 供電,安全、高效。
支持GPRS和CDMA 無線網(wǎng)絡數(shù)據(jù)傳輸,支持無線網(wǎng)橋數(shù)據(jù)傳輸。
可以無人值守、自動工作。
無線傳輸圖片功能:(備選)凡是抓拍到的圖片,根據(jù)用戶的要求,都可以通過3G 或CDMA,采用無線的方式把圖片從巡邏車上發(fā)送傳輸?shù)娇ǹ诨蛑笓]中心。
工作界面的人性化;在系統(tǒng)工作時,對所要監(jiān)控目標的視頻范圍可以任意設定,對檢測的靈敏度的基數(shù)可以設定,對同一時間連拍的圖片數(shù)目可設;系統(tǒng)符合交通警察現(xiàn)場作業(yè)的習慣;系統(tǒng)同時提供前端和后臺數(shù)據(jù)處理軟件系統(tǒng),交通警察可以在現(xiàn)場或事后處理違法或超速的車輛。所有的數(shù)據(jù)保存在數(shù)據(jù)庫中可以做分類的處理和查詢;這樣保證整個現(xiàn)場處罰的速度大大提高,并能保證準確性;多種傳輸方式;系統(tǒng)擁有通過無線(CDMA 或GPRS)或其他數(shù)據(jù)導入的方法。
流動電子警察抓拍軟件
系統(tǒng)軟件界面友好,使用方便,穩(wěn)定可靠。系統(tǒng)對違法車輛進行抓拍時,每次拍攝一幅圖片,圖片均以“JPEG”格式儲存,符合公安部的有關要求。儲存量不少于30萬張。當超出規(guī)定的儲存量限定值時,自動對前面的數(shù)據(jù)進行覆蓋保存。可以通過擴充硬盤容量來提高存儲記錄的最高限制。
配置參數(shù)
設備明細 | 型號或規(guī)格明細 | 品牌 | 主要參數(shù)及性能 | 單位/臺 |
抓 拍 主 機 | 超速自動抓拍軟件 | ? | 超速自動抓拍、違章手動抓拍、無線傳輸、打印、查詢、統(tǒng)計、U盤優(yōu)先保存和U盤自動下載、車頭、車尾、全方向測速抓拍、白天、黃昏、夜晚、陰天、雨天、雪天、霧天全天候測速抓拍。 | 1 |
平板電腦或筆記本電腦 | 主流品牌 | 平板電腦或筆記本電腦,由客戶任選。筆記本電腦為雙核I5,平板電腦為雙核I3。 | 1 | |
窄波測速雷達 |
| 工 作 頻 率:K波段(24.15GHz) 類 型:窄波雷達 靜態(tài)測速范圍:10~320 KM/H 移動測速范圍:19~322KM/H 環(huán) 境 要 求:溫度:-30度 ~ +70度;濕度:0 % ~ 90% 微 波 頻 率:24.15GHz(K-band) 發(fā) 射 角:5度 規(guī) 格:重:0.52kg、直徑:6.7cm、長:11.8cm 精 確 度:+/-1KM/H (固定式)+/-2KM/H(移動式) 特點 采用高速DSP信號處理芯片、0.3秒快速捕捉設計小巧輕便、制作精良純鑄鐵結構,堅固耐用232串口輸出防雨設計,不加封裝可直接放置室外精確度高,捕捉目標速度快動態(tài)時具有同向功能靜態(tài)時可分別檢測來車、去車 | 1 | |
海康200萬CCD千兆網(wǎng)高清攝像機 | ? | 傳輸方式: 千兆以太網(wǎng) 幅 面: 1600*1200 幀 率: 30fps 光學尺寸: 2/3英寸 最小照度: 0.1 lux(Mono)/0.5 lux(Color) 采集方式: 連續(xù)采集,異步復位 快門方式: 電子快門 快門速度: 1/16~1/40000 秒 鏡頭接口: C/CS CPU 占用: < 1% (傳輸) 種 類: 彩色(Bayer RGB),黑白 供電方式: 單獨+12V供電 工作溫度: -30°C~ 70°C | 1 | |
百萬像素高清鏡頭 | 百萬高清鏡頭 | 最小物距MOD 500mm,焦距25mm,光圈范圍F1.8 ∼ F16∼C,C接口,規(guī)格2/3”。 | 1 | |
電池 |
| 12V7AH電池 | 1 |
RTDZ-220 直流電源特性綜合測試系統(tǒng)
一、產(chǎn)品概況
RTDZ- 220直流電源特性綜合測試系統(tǒng)是根據(jù)國家關于直流電源運行和維護規(guī)程的相關要求,集多年的研制成果和現(xiàn)場運行經(jīng)驗,綜合國內(nèi)外相關技術而研發(fā)的新產(chǎn)品,該裝置可實現(xiàn)不同容量充電機以及蓄電池組容量的檢測和試驗,并能的測試出變電站直流電源系統(tǒng)的穩(wěn)壓精度、穩(wěn)流精度、紋波系數(shù)、效率值、交流輸入1-25次諧波值、放電容量等參數(shù)。同時配備直流電源綜合測試儀數(shù)據(jù)分析軟件,對上傳至計算機的測量數(shù)據(jù)進行各種分析。二、產(chǎn)品技術要求
一)、產(chǎn)品主要功能:
l 綜合測試:綜合測試顯示測量直流電流、直流電壓、交流電壓測量紋波電壓,計算并顯示出穩(wěn)壓精度、穩(wěn)流精度、穩(wěn)壓紋波系數(shù)和穩(wěn)流紋波系數(shù)。
l 穩(wěn)壓精度測量:交流輸入電壓在額定電壓±10%范圍內(nèi)變化,負荷電流在0~100%額定值變化時,直流輸出電壓在調(diào)整范圍內(nèi)的任一數(shù)值時其穩(wěn)壓精度。
l 穩(wěn)流精度測量:交流輸入電壓在額定電壓±10%范圍內(nèi)變化、輸出電流在20%~100%額定值的任一數(shù)值,充電電壓在規(guī)定的調(diào)整范圍內(nèi)變化時,其穩(wěn)流精度。
l 紋波精度測量:充電裝置輸出的直流電壓中,脈動量峰值與谷值之差的一半,與直流輸出電壓平均值之比,計算出出穩(wěn)壓紋波系數(shù)和穩(wěn)流紋波系數(shù)。
l 效率測量:充電裝置的交流額定輸入功率與直流輸出功率之比,效率測量顯示測量交流電壓、測量交流電流、測量直流電壓,測量直流電流,并計算出輸入功率、輸出功率和效率。
l 諧波測量:電流諧波測量,主要顯示1~25次諧波的狀況,包括諧波(或基波)次數(shù)、諧波真值、諧波含有率(HR)、總諧波畸變率(THD)等參數(shù)。
l 電池放電:數(shù)字化控制恒流放電,自動實時監(jiān)測單節(jié)和整組電池的電壓,電池放電測試顯示測量直流電流、測量直流電壓和放電時間,并計算出放電容量。
l 實時監(jiān)控功能:實時顯示并控制各設定的參數(shù)(如電壓、電流、時間等)。
l 在線監(jiān)測放電:可以實時通過無線通信監(jiān)測,記錄單節(jié)或整組電池的電壓,并在PC機上實時曲線和柱狀圖顯示。
l 自動保護功能:可通過設定電池組和單體電池保護電壓、放電容量、放電時長四種門限報警而實現(xiàn)自動保護。
l 強大的數(shù)據(jù)處理功能:可對蓄電池的多項測量結果進行曲線顯示、生成報表,并進行綜合計算分析,判別。
l 數(shù)據(jù)分析:包括綜合分析、穩(wěn)壓精度分析、穩(wěn)流精度分析、紋波系數(shù)分析、效率分析、電網(wǎng)諧波分析和電池放電分析可重新顯示原測量界面的內(nèi)容。
l 數(shù)據(jù)上傳:此功能允許用戶將保存的測量數(shù)據(jù)上傳到計算機上,以進行各種分析。
l 系統(tǒng)升級:此功能允許用戶使用U盤更新儀表軟件。
二)、產(chǎn)品主要特點:
l RTDZ-220直流電源特性綜合測試系統(tǒng)是一種直流電源測試分析專用設備,全自動依照國標完成交流電壓調(diào)整、加載負載電阻、參數(shù)測試(紋波系數(shù)測試、穩(wěn)流精度測試、穩(wěn)壓精度測試等),自動記錄測試值并停止測試等功能;
l 強大的擴展功能:兼容220V和110V直流系統(tǒng)的檢測;
l 采用三相自動數(shù)控調(diào)壓器:輸出精度高、功率大,電壓穩(wěn)定度高;
l 使用ARM和DSP雙CPU工作控制,以及16M字節(jié)的FLASH存儲器;
l 儀表使用大屏液晶觸摸屏,全漢化圖形界面,操作更簡單、方便;
l 測試過程中實時顯示測試數(shù)據(jù),所有圖表清晰美觀、直觀,查看方便;
l 可保存、回顯測量數(shù)據(jù)或?qū)⑵渖蟼鞯絇C,專用直流電源綜合測試儀數(shù)據(jù)分析軟件進行詳細數(shù)據(jù)圖表分析。隨時測試,隨時保存、編輯、打;
l 數(shù)據(jù)傳入計算機,進行入庫管理,可進行的歷史數(shù)據(jù)保存和分析;
l 模塊化結構,設計合理,運行,體積小,重量輕;
l 大容量存儲器:存儲三百組穩(wěn)壓精度測試、紋波系數(shù)測試、穩(wěn)流精度測試、效率測試、限流特性數(shù)據(jù)圖形;
l 完備的通訊功能,具有RS232通訊接口與USB接口,利用U盤傳遞數(shù)據(jù),可以U盤更新儀表軟件;
l 具有自動測試保護功能:當在測試過程中,檢測到整組或單體電池異常時,則自動終止測試;
l 防止對電池造成過放電,避免對設備造成沖擊;也可根據(jù)需要人為終止正在進行的測試過程。
三)、產(chǎn)品技術參數(shù):
主機 | 調(diào)壓器 |
工作電源:AC220V±10% | 額定功率:15KVA |
直流電壓測量:0~300V±0.1% | 輸入電壓:380V±10% |
直流電流測量:0~60A±0.5% | 輸出電壓:300V~450V |
紋波系數(shù):0.01%~10.00%±0.02% | 額定電流:20A |
負載電流:1~50A | 體積:260×350×600mm |
體積:500×360×420mm | 重量:18kg |
重量:15kg | |
內(nèi)存:128Mbit | |
適用電壓等級:220V、110V |
產(chǎn)品地址:www.whretop.com
HMDS基片預處理系統(tǒng)/充HMDS氣體真空烘箱/HMDS真空烘箱
產(chǎn)品技術參數(shù):電源電壓:AC 380V±10%/50Hz±2%輸入功率:4000W控溫范圍:室溫+10℃-250℃溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:±0.5℃達到真空度:133Pa容積:210L工作室尺寸(mm):560*640*600外形尺寸(mm):720*820*1750載物托架:3塊時間單位:分鐘 產(chǎn)品型號: HMDS-6210 產(chǎn)品名稱: HMDS基片預處理系統(tǒng)/充HMDS氣體真空烘箱/HMDS真空烤箱 產(chǎn)品特點: 在半導體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。 產(chǎn)品詳細資料:
產(chǎn)品型號: HMDS-6210 HMDS 真空烘箱預處理系統(tǒng) 產(chǎn)品特點:1、機外殼采用醫(yī)用級不銹鋼316L材質(zhì)制造,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。3、微電腦智能控溫儀,具有設定,測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,。4、智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。5、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。6、整個系統(tǒng)采用材料制造,無發(fā)塵材料,適用100 級光刻間凈化環(huán)境。
HMDS-6000系列預處理系統(tǒng)的一般工作流程: 首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內(nèi)真牢度達到某一高真空度后,開始充人氮氣,充到達到某低真空度后,冉次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設定的充入氮氣次數(shù)后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空,充入HMDS氣體,在到達設定時間后,停止充入HMDS藥液,進入保持階段,使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后,再次開始抽真空。充入氮氣,完成整個作業(yè)過程。真空烘箱HMDS與硅片反應機理如圖:首先加熱到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS與表面的OH一反應,在硅片表而生成硅醚,消除氫鍵作,從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續(xù)到空間位阻(較大)阻止其進一步反應。 尾氣排放等:多余的HMDS蒸汽(尾氣)將由真空泵抽出,排放到專用廢氣收集管道。在無專用廢氣收集管道時需做專門處理。
真空泵:國內(nèi)品牌,上海“慕鴻”型號:DM-4,旋片式油泵。 HMDS 預處理系統(tǒng)的必要性: 在半導體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯(lián)劑的作用。 HMDS-6000系列預處理系統(tǒng)的原理: HMDS-6000 預處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
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